디스플레이 측정 및 검사 장비
Measurement
대면적 박막두께 측정장비
■ Model AS-TEO, AS-TRC
● 적용 분야 : Wafer, Display, Thin Film, 시료분석, 바이오센서, 태양광 박막, 약물 코팅 etc
● 측정 항목 : Å ~ ㎛ 범위의 단층 및 다층 박막의 두께 측정
| Model : AS-TEO, AS-TRC | Beam Diameter | 120㎛ * 300㎛ | ||
|---|---|---|---|---|
| Spectral Range | 245m to 1000m (Option:~ 1700nm) | |||
| UV Spectrometer | 1.6nm pixel resolution, ~5nm | |||
| NIR Spectrometer | 3.2m pixel resolution, ~10m bandwidth (NIR) | |||
| 옵션 | SPC 및 MES 연동하여 내부 공정 및 계측기와 연동 가능 | |||
| Fast Camera Sample Alignment | ||||
■ SPECIFICATIONS
SE+SR Auto scanning module
• Spectral Range : 350-1000
• Acquisition speed : < 1 -5 sec/point
• Metrology Performance
– Film thickness
– Refractive index (n) and extinction coefficient (k)
– Uniformit
• Auto & Manual Mode
• Report (Excel)
• Repeatability : ‡ 0.3% of reading
• Uniformity
3D Microscope
• Magnification : 108X – 17 f280x
• Light Source : 405nm Laser
• Repeatability : Xr Y : 0.12um / Z : 10nm
• Step height measurement (3D)
• Roughness measurement
VIS/NIR Spectrophotometer
• W.L. Resolution: 5 nm
• Transmission & Reflection
Measurement
디스플레이-대면적XRF
Invar Film Auto Optical Inspection System
SPECIFICATION
| 대면적XRF | 측정 대상 | • Fe, Ni 등의 함량(조성비) • INVAR Foil 등의 두께 | ||
|---|---|---|---|---|
| Intended use | Energy dispersive X-ray measuring instrument (EDXRF) to determine thin | |||
| Element range | Aluminum (13) to Uranium U (92) – up to 24 ements simultaneously | |||
X-ray tube | Larger Window, 70mm2, high flux SDD with 135eV resolution | |||
High voltage | ~ 0.5 mm (0.02inch) | |||
X-ray detector | 매크로 – 45x (5x digital zoom) | |||
방식 | 마이크로 – 150x | |||
구동기구 | SPC 및 MES 연동하여 내부 공정 및 계측기와 연동 가능 | |||
정도 | Wafer, Display, Thin Film, Bump, RoHs, 중금속분석, 성분분석, 불순물함량분석, 식품 미량 원소 분석, 치과용 재료분석, 배터리 전극 재료 분석 etc. | |||
이동속도 | 최대 500mm/sec. | |||
조작 | PC제어 Program이동 | |||
로딩 / 언로딩 | •작업자 매뉴얼 로딩/언로딩 •로딩 후 스테이지 안착후 버큠(Aerofix) 흡착 | |||
Measurement
디스플레이-Invar 검사기
■Invar Film Auto Optical Inspection System
■Model : ASI-350
• 검사대상 : Invar Film
• 검사항목 – AOI : 스크래치 이물, 패턴 등 외관 검사 및 리뷰
– Microscope : Review 및 패턴사이즈 측정
• 검사방식 : Full auto system
• 검사속도 : 30 mm/s
• Line Scan Auto Focuse기능 탐재
| Model: ASI-350 | 검사대상 | Invar Film | ||
|---|---|---|---|---|
| 검사항목 | •AOI:스크레치,이물,패턴등외관검사및리뷰 •MICROSCOPE : Review 및 패턴사이즈 측정 | |||
| 검사방식 | Full auto system | |||
| 검사속도 | 30m/s | |||
| Line Scan Auto Focuse 기능 탑재 | ||||
■ Invar 검사기 동영상
– 불량 항목 별 Map 표시 (어느 부분에 어떤 불량이 있는지 빠르게 확인)
– 불량 위치 X.Y 좌표 확인
-패턴 (CD) 사이즈를 AF 하여 상하단 고배율 CD 측정
Measurement
디스플레이-필름검사기
고휘도 LED 자율조명(OEM 특수 광학계)의 멀티 이미지 조합으로 1개의 샘플을 8번 촬영하며, 촬영된 이미지를 이용한 자체 영상처리 알고리즘을 이용하여 반사율, 거칠기, 기울기 데이터등을 생성합니다..
A.I Vision System(Rule Vision포함)의 알고리즘을 통한 외관의 불량을 검사, 분류 하는 시스템입니다. .
| 필름검사기 | 장비 SIZE | 1,600 x 1,800(mm) | ||
|---|---|---|---|---|
| 전원 | AC 220V, 3P | |||
| 구동기기 | Servo Motor, Cylinder 외 | |||
| HMI | 7”Profacex2EA(장비전,후배치) | |||
| 검사 Control | 산업용 컴퓨터 | |||
| H/W Control | PLC System | |||
| Emergency | EMO Switch x 3 EA | |||
| Cleaness | Class 1000 (FFU 적용) | |||
• If there is no depth of S/C quantity, quantity can be classified by RG2 image
• Raw material bubbles: NH-processed and INV-processed images can be distinguished
(inspection screen)
(Film Load)
(Film Unload)
Measurement
디스플레이-면저항측정
■ 표면 저항, 비저항 측정
■ Model : AF – 128
• 저항, 면저항, 비저항, 전도도 측정
• 측정 데이터 저장 (날짜, 샘플모델, 사용자 지정 선택)
• 사용자 지정 포인트 저장 후 각 샘플 별 반복측정 기능
• Vision Aligner Camera
• Mapping (Display : 1100x1300mm)
• 측정 범위 1mΩ/sq. ~ 1GΩ/sq. , 10.0 μΩ·㎝ ~ 10.0 MΩ·㎝
• 2D, 3D Graphic viewer.
• 옵션 : SPC 및 MES 연동하여 내부 공정 및 계측기와 연동 가능
| Model: AF-128 | 저항, 면저항, 비저항, 전도도 측정 | |||
|---|---|---|---|---|
| 측정 데이터 저장 (날짜, 샘플모델, 사용자 지정 선택) | ||||
| 사용자 지정 포인트 저장 후 각 샘플 별 반복측정 기능 | ||||
| Vision | Aligner Camera | |||
| Mapping | Display : 1100x1300mm | |||
| 측정범위 | 1mΩ/sq. ~ 1GΩ/sq. , 10.0 μΩ·㎝ ~ 10.0 MΩ·㎝ | |||
| 2D, 3D Graphic viewer. | ||||
| 옵션 | SPC 및 MES 연동하여 내부 공정 및 계측기와 연동 가능 | |||
