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Analytics XRF System

엑스레이	50W Mo target with
검출기	Larger Widow, 70mm2, High resolution and high flux SDD with 135eV resolution
초점 거리	초점거리: ~0.5mm ( 0.02inch)
디지털 펄스 프로세싱	4096 CH digital multi-channel
비디오 배율	매크로 : 45x (5x digital zoom), 마이크로 : 150x (듀얼 Vision Camera)
Xralizer 측정 프로그램	보정(Calibration)이 간편한 FP (Fundamental Parameter) Method 방법과 Empirical Method 지원
	한글 포함 10개국 이상의 언어 지원 (영어, 중국어, 일본어, 유럽 등)
	Windows10 운영 O/S 기반
	미지의 시료 측정에서 자동 Spectrum 분석을 위한 Smart ID 기능
	여러 시료를 비교할 수 있는 Spectrum Overlay 기능
	자동 측정을 위한 측정 위치 Programming 기능과 3D Mapping 기능
	자동 측정을 위한 측정 포인트 별 자동 초점 기능과 패턴 인식 기능
	PDF, 엑셀, 워드 등의 다양한 결과 출력 형식과 실시간 결과 전송 기능
	Cp, Cpk, Cg, Cgk 기본 통계 기능

3D Measuring Laser Inspection

현미경 헤드	광학 소스 : 405nm 레이저
	탐지 시스템 : 공초점시스템
	동적 영역 : 16bit
	총 배율 : 108x~17,280x
	광학 줌 : 1x~8x
	자동 대물렌즈 변경
	하드웨어 미분관찰 필터 장착
	87.5도 경사도 분석 가능
렌즈부	레이저 공초점 전용렌즈,
	레이저 미분관찰, 명시야, 암시야, 편광
	10x, 20x, 50x, 100x는 레이저 현미경을 위해 고안된 전용 대물렌즈
	Field of View: 2,560um~16um
반복도와 정확도의 보증	정확도
	평면 정확도 : 측정값 ±1.5%
	단차 정확도 : 0.15+L/100 um 혹은이하
	(L=Measurement length)
	반복도
	평면 반복도 : 3σn-1=0.02um 혹은 이하
	단차 반복도 : σn-1=0.02um 혹은 이하
측정	1. Distance measurement
	2. Cross-sectional measurement
	3. Line width measurement
	4. Three-dimensional roughness
	5. Two-dimensional roughness
	6. Roughness parameter

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