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인라인 모니터링

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제품 생산 시 이동되는 박막의 두께를 모니터링 및 제어 하세요.
100Hz 만큼 빠른 샘플 이동 속도에서 다중 측정 위치도 가능 합니다.

  • 양산 적용을 위한 자동화된 카세트-대-카세트(Cassette-to-Cassette)기반의 박막(Thin-Film)두께 매핑 시스템

    Filmetrics F60-c 시리즈 제품은 박막 두께 및 굴절률을 F50 설비와 같이 박막 두께 및 굴절률을 매핑 하지만 양산 환경을 고려한 특정 기능들을 여러 개 포함 하고 있습니다. 이것은 자동 노치(notch)찾기, 자동 온-보드 베이스라인, 부착된 연동 모션 측정 스테이지, 측정 소프트웨어가 설치된 산업용 컴퓨터, 그리고 카세트-대-카세트(cassette-to-cassette) 기반의 로보틱 웨이퍼 핸드링을 포함 합니다.
    차별화된 F60-c 장비는 우선적으로 두께와 파장 영역으로 분류됩니다. 일반적으로 단파장 영역이(예 F60-c-UV) 얇은 박막 측정에 필요한 반면, 장 파장 영역은 두께가 두껍고, 거칠고, 더욱 불투명한 박막들의 측정에 필요 합니다.
    모델사양
    창업비용안내
    모델 두께범위 파장영역
    F60-c 20㎚-70㎛

    380-1050㎚

    F60-c-UV 5㎚-40㎛ 190-1100㎚
    F60-c-NIR 100㎚-250㎛ 950-1700㎚
    F60-c-EXR 20㎚-250㎛ 380-1700㎚
    F60-c-UVX 5㎚-250㎛ 190-1700㎚
    F60-c-XT 0.2㎛-450㎛ 1440-1690㎚
    F60-s980 4㎛-1㎜ 960-1000㎚
    F60-c-s1310 7㎛-2㎜ 1280-1340㎚
    F60-c-s1550 10㎛-3㎜ 1520-1580㎚

    ※필름 스텍의 의존성

  • 저렴한 양산 웨이퍼 측정기기

    공정엔지니어는 신속하고 번거로움 없는 박막 두께 측정을 원합니다. 자사의 혁신적인 두께 이미지 기술은 쉽게 레시피를 설정하며, 업계 최고의 생산량 및 다른 측정 기기에 비하여 매우 저렴한 비용으로 측정 할 수 있도록 제공 합니다.
    어느 한 지점에서 두께를 측정하는 기존의 측정 기기와는 달리, F80은 측정 위치 주변에 수천 개의 두께를 신속하게 판독하고 수집하여 두께 분포를 생성합니다.
    구성은 저비용, 수동-로드 탁상형 시스템에서 완전 자동화된 카세트-대-카세트(cassette-to-cassette)시스템이 가능 합니다.
    귀하가 차세대 두께 측정 계측기를 찾고 있신다면 Filmetrics F80 이상을 보지 마십시요. F80은 CMP, CVD, PVD 및 웨이퍼 트랙 공정 엔지니어가 기다려온 장비 입니다.
    두께 이미징™는 Filmetrics Inc.의 등록상표입니다.
    R&Filmetrics R&D 는 100대 두께 이미징 기술을 수상 했습니다
  • 가장 강력한 박막 증착 모니터링 장비

    F30은 분광 반사율 시스템으로 증착 속도 측정, 박막층의 두께, 광학 상수 (n과k), 그리고 반도체 및 유전체 층의 실시간 균일성을 측정합니다.

    박막층의 예

    MBE, MOCVD: 부드럽고 반투명하거나, 미약하게 광을 흡수하는 필름을 측정 할 수 있습니다. 이것은 AIGaN에서 GaInAsP에 이르기까지 거의 모든 반도체 소재를 포함합니다.
    모델사양
    창업비용안내
    모델 두께범위 파장영역
    F30 15㎚-70㎛

    380-1050㎚

    F30-EXR 15㎚-250㎛ 380-1700㎚
    F30-NIR 100㎚-250㎛ 950-1700㎚
    F30-UV 3㎚-40㎛ 190-1100㎚
    F30-UVX 3㎚-250㎛ 190-1700㎚
    F30-XT 0.2㎛-450㎛ 1440-1690㎚

    ※필름 스텍의 의존성

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