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자동화 대면적 검사

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  • 시스템 설명

    마르포스 NCG는 인터페로메트리(간섭계) 기술을 기반으로 한 두께 측정기입니다. 레이어에서 반사된 일정한 광파는 측정 대상물의 경계에서 구분되어 각 레이어 두께를 측정합니다. NCG는 다양한 종류의 부품인 유리, 플라스틱, 실리콘 웨이퍼 등의 두께를 제어하도록 설계되었습니다. 적외선 광원을 이용하여 불투명 물질을 측정할 수 있습니다. 당사의 게이지는 기계 사이클 시간, 최종 제품의 품질을 개선 및 유지하고 주요 작업 단계 전, 도중 또는 후에 프로세스를 제어하도록 설계되었습니다. 마르포스 NCG는 정확하고 빠른 부품 두께 제어를 위해 모든 기계와 인터페이스 할 수 있는 고속 정밀 측정기입니다. 지정된 기술 사양 한도 내에서, 건조하거나 습한 환경에 관계없이 고정장치 또는 기계 내부에 설치하여 사용할 수 있습니다.
    장점
    목표 공차 내 부품 생산 보장
    측정 시간 최적화
    보증된 균일한 생산성 제어
    생산 향상 보장
    생산 이력 추적
    응용 분야
    다양한 유형의 실리콘, 사파이어 웨이퍼 두께 측정
    백 그라인딩 연삭기 및 래핑 기계의 공정 중 제어
    얇거나 두꺼운 각각의 레이어 측정
    테이프 두께 제어
    자동화 대면적 검사

    NCG 시스템

    NCG 간섭계 측정기는 사용하기 쉽게 설계되었습니다. 여러 싱글 유닛은 기계와 제어되는 센서 네트워크에 연결될 수 있습니다. 반사되는 부분이 거칠거나 불투명한 부분도 측정할 수 있으며, 개선된 전자기기를 사용하여 실시간 측정을 실행하고 시간 동안 수집된 연속 데이터를 저장합니다. 저장된 데이터는 사후 공정 정교화, 품질 관리 및 기계 성능 평가에 사용할 수 있습니다.

    NCG 시스템
    NCG 시스템01
    측정 원리 간섭계(Interferometric)
    광원 SLED
    모델별 측정범위* S1 = 37~1850 µm
    S2 = 74~3700 µm
    T1 = 15~900 µm
    D2 = 60~3000 µm
    정확도 ≤ 1 µm
    축 해상도 30 nm
    적용 채널수 1
    인터페이스 Ethernet (10/100 Mbit)
    RS232 / RS422 as option
    네트워크 연결 가능
    공급 전원 12÷24 Vdc (+20%/-15%)
    소비 전력 30 W
    IP 등급
    Standard IEC 60529
    IP40
    무게 2,8 Kg
    크기 [mm] 127 (w) x 129 (h) x 255,5 (d)

    위의 사양은 정적상태에서 테스트하였으며, 측정 성능은 15~35 °C 범위에서 허용됩니다.
    * = r굴절률 인덱스 n=1범위. 다른 재료의 측정범위를 얻기 위해서는 해당 재료의 굴절률 범위를 결정해야 합니다. R a> 0.1인 거친 표면의 경우 측정 범위가 제한될 수 있습니다.

    광학 프로브

    마르포스 광학 프로브는 깨끗하거나 열악한 환경에서도 최고의 성능을 얻을 수 있도록 설계되었습니다. 프로브는 물이나 기타 강한 성분의 물질이 있는 경우에도 사용할 수 있습니다. 모든 단일 구성 부품들은 진동, 열 및 습도 등의 조건에서 테스트되어 신뢰할 수 있으며, 고객 요구에 맞게 제작된 디자인으로 부품 두께와 거리 모두 측정하는데 사용할 수 있습니다.

    광학 프로브
    광학 프로브01
    광학 프로브02 광학 프로브03
    측정 유형* 두께
    사용 거리 (WD)** 1.6, 10, 100 mm
    스팟 직경 18~30 µm
    방위 분해능 9~15 µm
    표면에 대한 각도 90° ± 2°
    광섬유 길이 3 / 4 m
    광섬유 굽힘 각도 30 mm
    보호 섬유 옵션
    IP 등급 IP68 IP40
    무게 케이블 제외 915 g 80 g

    * = 거리측정 버전에도 사용할 수 있습니다
    ** = 1.6 mm 초점 거리는 IP68 광학 펜용 입니다 (이 프로브는 DI 물이 있는상태에서사용 가능합니다)

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