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어느 샘플 형상과도 매우 근접한 두께 및 굴절률의 완벽한 자동 매핑시스템.
수동-로딩과, 로봇식-로딩 시스템이 가능 합니다.

  • 자동의 박막 두께 매핑

    Filmetrics F50 제품군은 1초에 2포인트만큼 빠르게 박막 두께를 매핑 할 수 있습니다. 모터 구동의 R-Theta 스테이지는 샘플직경 450mm까지 표준 및 주문자 생산용 Chuck(척)에 적용 됩니다. (이것은 수 백만 번의 측정을 수행하는 높은 수명의 스테이지 입니다!).
    맵 패턴은 Polar, 직각, 또는 선형, 또는 여러분이 측정 포인트의 제한 없이 생성 할 수 있습니다. 기-정의된 수십 개의 맵 패턴이 제공됩니다.
    F50 박막 두께매핑 시스템은 귀하의 컴퓨터에 USB 포트를 연결하여 수분 안에 설치 할 수있습니다.
    차별화된 F50 장비는 우선적으로 두께와 파장 영역으로 분류됩니다. 표준 F50는 가장 인기가 있습니다. 일반적으로 단파장 영역이(예 F50-UV) 얇은 박막 측정에 필요한 반면, 장 파장 영역은 두께가 두껍고, 거칠고, 더욱 불투명한 박막들의 측정에 필요 합니다.
    모델사양
    창업비용안내
    모델 두께범위 파장영역
    F50 20㎚-70㎛

    380-1050㎚

    F50-UV 5㎚-40㎛ 190-1100㎚
    F50-NIR 100㎚-250㎛ 950-1700㎚
    F50-EXR 20㎚-250㎛ 380-1700㎚
    F50-UVX 5㎚-250㎛ 190-1700㎚
    F50-XT 0.2㎛-450㎛ 1440-1690㎚
    F50-s980 4㎛-1㎜ 960-1000㎚
    F50-s1310 7㎛-2㎜ 1280-1340㎚
    F50-s1550 10㎛-3㎜ 1520-1580㎚

    ※필름 스텍의 의존성
    -두계 및 굴절률 해결책은 선택 사항 입니다.
    -각진 반사율을 추가하여 더욱 복잡한 필름 층을 측정 하기

  • 자동의 박막두께매핑

    진보된 F54분광계 시스템으로 샘플직경 450mm까지 빠르고 쉽게 매핑되는 박막두께측정. 모터구동 r-theta 스테이지는 지정한 측정포인트를 자동으로 이동하며 초당 2 포인트만큼 빠르게 두께측정을 제공합니다.
    수십여개의 기 정의된 polar, 직각 또는 선형의 맵패턴을 선택, 측정 포인트수에 제한없이 임의로 생성할수있습니다. 전반적인 데스크탑 시스템은 수 분안에 셋업되고 기초컴퓨터 사용자도 쉽게 사용할수있습니다.
    F54 박막두께 매핑시스템은 Windows®의 USB port에 연결하며 컴퓨터에 수 분안에 셋업됩니다.
    장비의 차이는 주로 두께와 파장영역에서 구별됩니다. 일반적으로 장파장 영역이 더 두껍고, 거칠고, 불투명한 박막에 허용되는반면 단파장영역(e.g. F54-UV)은 더 얇은 박막의측정에 요구됩니다.
    모델사양
    창업비용안내
    모델 두께범위 파장영역
    F54 20㎚-40㎛

    380-850㎚

    F54-UV 4㎚-30㎛ 190-1100㎚
    F54-NIR 40㎚-100㎛ 950-1700㎚
    F54-EXR 20㎚-100㎛ 380-1700㎚
    F54-UVX 4㎚-100㎛ 190-1700㎚

    ※재료의 및 광학현미경 의존성

    창업비용안내
    Spot Size 500㎛
    Aperture
    250㎛
    Aperture
    100㎛
    Aperture
    50㎛
    Aperture
    5x Objective: 100㎛ 50㎛ 20㎛

    10㎛

    10x Objective: 50㎛ 25㎛ 10㎛ 5㎛
    15x Objective: 33㎛ 17㎛ 7㎛ 3.5㎛
    50x Objective: 10㎛ 5㎛ 2㎛ 1㎛
  • 양산을 위한 자동화된 두께 매핑

    Filmetrics F60-t 시리즈 제품들은 F50과 같이 박막 두께 및 굴절률을 매핑 하지만 양산 환경을 고려한 특정 기능들을 여러 개 포함 하고 있습니다. 이것은 자동 노치(notch)찾기, 자동 온-보드 베이스라인, 부착된 연동 모션 측정 스테이지, 측정 소프트웨어가 설치된 산업용 컴퓨터 합니다. 전 자동 웨이퍼 핸들링으로 업그레이드 하실 수 있습니다.
    차별화된 F60-t 장비는 우선적으로 두께와 파장 영역으로 분류됩니다. 일반적으로 단파장 영역이(예 F60-t-UV) 얇은 박막 측정에 필요한 반면, 장 파장 영역은 두께가 두껍고, 거칠고, 더욱 불투명한 박막들의 측정에 필요 합니다.
    모델사양
    창업비용안내
    모델 두께범위 파장영역
    F60-t 20㎚-70㎛

    380-1050㎚

    F60-t-UV 5㎚-40㎛ 190-1100㎚
    F60-t-NIR 100㎚-250㎛ 950-1700㎚
    F60-t-EXR 20㎚-250㎛ 380-1700㎚
    F60-t-UVX 5㎚-250㎛ 190-1700㎚
    F60-t-XT 0.2㎛-450㎛ 1440-1690㎚
    F60-t-s980 4㎛-1㎜ 960-1000㎚
    F60-t-s1310 7㎛-2㎜ 1280-1340㎚
    F60-t-s1550 10㎛-3㎜ 1520-1580㎚

    ※필름 스텍의 의존성

  • 저렴한 양산 웨이퍼 측정기기

    공정엔지니어는 신속하고 번거로움 없는 박막 두께 측정을 원합니다. 자사의 혁신적인 두께 이미지 기술은 쉽게 레시피를 설정하며, 업계 최고의 생산량 및 다른 측정 기기에 비하여 매우 저렴한 비용으로 측정 할 수 있도록 제공 합니다. 어느 한 지점에서 두께를 측정하는 기존의 측정 기기와는 달리, F80은 측정 위치 주변에 수천 개의 두께를 신속하게 판독하고 수집하여 두께 분포를 생성합니다. 구성은 저비용, 수동-로드 탁상형 시스템에서 완전 자동화된 카세트-대-카세트(cassette-to-cassette)시스템이 가능 합니다.
    귀하가 차세대 두께 측정 계측기를 찾고 있신다면 Filmetrics F80 이상을 보지 마십시요. F80은 CMP, CVD, PVD 및 웨이퍼 트랙 공정 엔지니어가 기다려온 장비 입니다.
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