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자동면저항측정기

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웨이퍼용 스테이지 면저항측정기
  • 대면적 글라스 및 필름 스테이지용 면저항측정기

    주요기능
    1) XYRZ-Axis robot fully automatic moving system
    2) Automatic resistance range selection
    3) Measuring size (Circular type) : Max : Ø500 ㎜ (option ~ )
    4) Perfect remote control by operation software
    5) Data analysis : uniformity, avg, max, min, 2D 3D-mapping, capture. etc
    장비사양
    Measuring method 4-Point Probe
    Configuration Sngle or dual
    Measuring Range 1mΩ/sq. ~ 1GΩ/sq. , 10.0 μΩ·㎝ ~ 10.0 MΩ·㎝
    Measurement accuracy ±0.5% (KRISS Standard wafer, when 23℃)
    Measuring time range search max. 3s / search after actual 1-2s
    4-Point Probe pin spacing 1.00㎜
    Pin load 80~160g/pin
    Pin radius 300㎛
    Tolerance ±0.01㎜
    Pin material tngsten
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