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  • 인라인 모니터링

    제품 생산 시 이동하는 박막의 두께를 모니터링 및 제어가능
    100Hz 만큼 빠른 샘플 이동 속도에서 다중 측정 위치 설정 가능

  • 자동 매핑시스템

    어느 샘플 형상과도 매우 근접한 두께 및 굴절률의 완벽한 자동 매핑시스템
    수동-로딩과 로봇식-로딩 시스템이 가능

  • 단일-스팟 측정

    단 한번의 마우스 클릭으로 박막 두께 및 굴절율을 측정하는 탁상형 시스템
    다층 박막도 -1nm에서 13mm까지 두께 측정 가능

  • 현미경-스팟 측정

    2.5um 만큼의 Small-spot 측정 시 필요하며 귀하의 기존 현미경을
    이용 하거나 자세에서 전체 장비도 제공 가능

  • Profilm3D

    표면조도 및 Topography 측정은 기존 Stylus Profilometer보다 저렴한 장비로 제공 가능합니다. 서브-나노미터의 수직 Resolution 을 갖는 Profilm3D는 3배 비용의 고가 장비들을 능가합니다.

  • Protable Ellipsometer

    2.2Kg Compact 한 Sensor Unit !!
    어디든 이동하여 측정가능!!

  • Auto Mapping Ellipsometer

    최고 속도 20ms의 고속측정 실현!!
    자동측정. 결과를 Color Map으로 표시!!

  • Built- in Ellipsometer

    증착장비에 탑재 가능한 Built-In Type!!
    진공상태에서 측정이 가능!!

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