디스플레이
디스플레이 측정 및 검사 장비
Measurement
대면적 박막두께 측정장비
Total 측정 장비 시스템 박막 태양 전지, OLED, LCD, 코팅 유리용
■ SPECIFICATIONS
SE+SR Auto scanning module
- SE+SR Auto scanning module
- Spectral Range : 350-1000
- Acquisition speed : < 1 -5 sec/point
- Metrology Performance
– Film thickness
– Refractive index (n) and extinction coefficient (k)
– Uniformit
• Magnification : 108X – 17 f280x
• Light Source : 405nm Laser
• Repeatability : Xr Y : 0.12um / Z : 10nm
• Step height measurement (3D)
• Roughness measurement
Sheet Resistance Meter
• Sheet Resistance meter
• Auto & Manual Mode
• Report (Excel)
• Repeatability : ‡ 0.3% of reading
• Uniformity
VIS/NIR Spectrophotometer
• W.L. range: 350nm-1100nm (option :900nm – 1600 nm)
• W.L. Resolution: 5 nm
• Transmission & Reflection
Measurement
디스플레이-대면적XRF
Measurement
디스플레이-Invar 검사기
■Invar Film Auto Optical Inspection System
■Model : ASI-350
• 검사대상 : Invar Film
• 검사항목 – AOI : 스크래치 이물, 패턴 등 외관 검사 및 리뷰
– Microscope : Review 및 패턴사이즈 측정
• 검사방식 : Full auto system
• 검사속도 : 30 mm/s
• Line Scan Auto Focuse기능 탐재
■ Invar 검사기 동영상
– 불량 항목 별 Map 표시 (어느 부분에 어떤 불량이 있는지 빠르게 확인)
– 불량 위치 X.Y 좌표 확인
-패턴 (CD) 사이즈를 AF 하여 상하단 고배율 CD 측정
Measurement
디스플레이-필름검사기
고휘도 LED 자율조명(OEM 특수 광학계)의 멀티 이미지 조합으로 1개의 샘플을 8번 촬영하며, 촬영된 이미지를 이용한 자체 영상처리 알고리즘을 이용하여 반사율, 거칠기, 기울기 데이터등을 생성합니다..
A.I Vision System(Rule Vision포함)의 알고리즘을 통한 외관의 불량을 검사, 분류 하는 시스템입니다. .
title | content |
Equipment SIZE | 1,600 x 1,800(mm) |
Power | AC 220V, 3P |
pneumatic pressure | Air : 6 kgf/cm² |
a driving device | Servo Motor, Cylinder |
HMI | 7" Proface x 2 EA (pre- and post-equipment deployments) |
Inspection Control | industrial computer |
H/W Control | PLC System |
Emergency | EMO Switch x 3 EA |
Cleaness | Class 1000 (FFU applied) |
Bad Type Shot Image
• If there is no depth of S/C quantity, quantity can be classified by RG2 image
• Raw material bubbles: NH-processed and INV-processed images can be distinguished
• Line pressed: INH, INV image distinguishable
• Spot: RG2 image can be distinguished as defective
• Raw material foreign matter: Can be classified into INH and INV images
• Photo taken: INH-Processed, INV-Processed image
(inspection screen)
(Film Load)
(Film Unload)
Measurement
디스플레이-면저항측정
■ 표면 저항, 비저항 측정
■ Model : AF – 128
• 저항, 면저항, 비저항, 전도도 측정
• 측정 데이터 저장 (날짜, 샘플모델, 사용자 지정 선택)
• 사용자 지정 포인트 저장 후 각 샘플 별 반복측정 기능
• Vision Aligner Camera
• Mapping (Display : 1100x1300mm)
• 측정 범위 1mΩ/sq. ~ 1GΩ/sq. , 10.0 μΩ·㎝ ~ 10.0 MΩ·㎝
• 2D, 3D Graphic viewer.
• 옵션 : SPC 및 MES 연동하여 내부 공정 및 계측기와 연동 가능
